22: تهيه لايه هاي نازك NiFe به روش تبخير حرارتي در خلا و محاسبه مقاومت ويژه و TCR
احساني محمدحسين، قلي پورديزجي حميدرضا، كاملي پرويز
كنفرانس ملي خلاء ايران  1386;بهمن 1386(3)
کلید واژه: 
خلاصه:

لايه هاي نازك آلياژهاي  80 NiFeو  x=60روي بستر شيشه با ضخامت حدود 100-50 نانومتر به روش تبخير حرارتي در خلا تهيه گرديد. لايه ها توسط آزمايشهاي SEM،XRD  و EDAX مورد مطالعه قرار گرفتند با استفاده از اندازه گيري الكتريكي، مقادير مربوط به مقاومت ويژه و TCR نمونه ها محاسبه و مقادير مربوطه با نمونه هاي ديگر ساخته شده از روشهاي ديگر مقايسه شد.