پاسخ به:دانلود مقالات سرامیک
58: بررسي عوامل موثر بر ساختار و خواص كريستالوگرافي لايه هاي نازك تيتانات زيركونات سرب (PZT) بر روي زيرلايه سيليكون مورد استفاده در سيستم هاي ميكروالكترومكانيك (MEMS)
|
كوچك زاده علي، كشاورزي علمداري اسكندر، برزگر عبدالغفار |
كنگره سراميك ايران 1388;ارديبهشت 1388(7) |
کلید واژه: PZT U، EMS، عمليات حرارتي آنيل |
خلاصه:
امروزه ازتكنولوژي ساخت لايه هاي نازك بصورت گسترده در ساخت سيستم هاي ميكروالكترومكانيك (MEMS) استفاده مي شود. سراميك پيزوالكتريك تيتانات زيركونات سرب (ZPT) با فرمول Pb(Zrx,Ti1-x)O3 بصورت لايه نازك به ضخامت يك ميكرون بر روي زيرلايه اي از Si/Ti/Pt و به روش كندوپاش مغناطيسي RF راسب مي شود. كاربرد لايه نازك تيتانيوم بعنوان عامل چسبنده بين لايه پلاتين و زيرلايه سيليكون مي باشد. لايه نازك پلاتين نيز بعنوان الكترود پاييني پس از عمليات پيش آنيل در جهت كريستالوگرافي (111) رشد نموده كه با آناليز XRD قابل اثبات است. انجام عمليات حرارتي آنيل نهايي بر روي مجموعه چند لايه اي سيليكون منجر به ايجاد ساختار كريستالي پروفسكيت در لايه PZT شده و با توجه به اينكه ثابت شبكه آن در جهت (111) بسيار نزديك به لايهPt(111) مي باشد، رشد ساختار كريستالي PZT نيز در راستاي اين جهت مرجح انجام مي شود. اما در عين حال انجام عمليات آنيل نهايي، منجر به تبلور مجدد پلاتين و نيز ايجاد حفرات ريز بر روي لايه پلاتين مي شود كه متعاقب آن تخريب در لايه هاي نازك پلاتين و PZT و كاهش خواص الكتريكي PZT را در پي خواهد داشت. در اين تحقيق اثر عوامل مختلف دما و زمان آنيل بر ساختار و خواص PZT مورد بررسي قرار گرفت و مشخص گرديد كه عمليات انيل نمونه هايSi/Ti(10nm)/Pt(100nm)/PZT در دماي 650oC به مدت 30 دقيقه بهترين نتايج را براي خواص كريستالي و مورفولوژي سطحي PZT بدست مي آورد.
|
پنج شنبه 24 فروردین 1391 8:40 PM
تشکرات از این پست