پاسخ به:بانک مقالات بلورشناسي و كاني شناسي
جمعه 29 اردیبهشت 1391 12:14 PM
| 8 : بلورشناسي و كاني شناسي ايران بهار 1387; 16(1):91-98. |
| بررسي خواص فيزيکي لايه هاي نازک رسانا و شفاف اکسيد اينديم آلاييده به قلع برحسب ضخامت و دماي بازپخت در خلا |
| معنوي زاده نگين*,ملكي محمدهادي,خداياري عليرضا,اصل سليماني ابراهيم |
| * آزمايشگاه تحقيقاتي لايه هاي نازک، گروه مهندسي برق و کامپيوتر، دانشکده فني، دانشگاه تهران |
|
لايه هاي نازک اکسيد اينديم آلاييده به قلع ITO)) با ضخامتهاي مختلف 130-620 nm بر زيرلايه هاي شيشه نازک به شيوه کندوپاش RF و با استفاده از هدف سراميکي ITO (%90 wt. In2O3 و (%10 wt. SnO2 لايه نشاني و سپس در محيط خلا گرمادهي شد ند. سرشتيهاي الکتريکي و اپتيکي نمونه هاي ITO، پيش و پس از گرمادهي در دماهاي مختلف به وسيله يك سيستم اندازه گيري مقاومت چارسوزني و طيف سنج UV/VIS/IR بررسي و مقايسه شدند. ساختار بلوري لايه هاي گرمادهي شده در دماي بهينه oC 400با آناليز پراش پرتو ايکس XRD مورد مطالعه قرار گرفت. از آناليز SEM نيز براي بررسي ساختار سطحي لايه بهينه بهره گرفته شد. بررسي نتايج حاصل از آناليزها نشان مي دهد که با افزايش ضخامت لايه ها و تغيير ساختار بلوري، سرشتيهاي الکتريکي و اپتيکي ماده، نظير مقاومت سطحي، مقاومت ويژه، و شفافيت لايه ها تغيير مي کند، به طوريکه لايه 130 nm با ضخامت کمتر در دماي oC 400، داراي شفافيت 83.71%، و مقاومت ويژه2.34×10-4 Wmc است. لايه 620 nm با شفافيت 79.7%، در oC 400کمترين مقاومت ويژه 1×10-4 Wmc » را نشان مي دهد که مي توان آن را به عنوان لايه بهينه ضخيم با مقاومت سطحي 1.6 W/? براي کاربردهاي مختلف معرفي کرد. |
| كليد واژه: لايه هاي نازک، اکسيد اينديم آلاييده به قلع، ساختار بلوري، گرمادهي در خلا، تغيير ضخامت، کندوپاش |
 |
|
نسخه قابل چاپ |
