مقالات مهندسي سطح و عمليات حرارتي

تنش لايه هاي فلزي Ag, Au, Zn, Cu, Al و Fe را كه با روش PVD و كندوپاش (sputtering) در تعداد بيشماري تهيه شده اند، اندازه گيري نموده ايم. براي اين منظور از زير لايه هاي مضاعف شيشه و ميكا به ابعاد 1×76×25 و 0.14×50×24 ميليمتر (140 ميكرون) متناسب با دستگاههاي تبخير استفاده شد. لايه ها در شرايط تقريبا يكسان با تغيير پارامترهاي تبخير و با ضخامت هاي مختلف رسوب د اده شدند عمل تبخير در خلا و در فشارهاي حدود 10^-5 تور در روش PVD و در فشار حدود 10^-3 تور در روش كندوپاش انجام گرفت و با اعمال شدت جرياني مناسب با فيلامنت به صورت فنر يا سبد براي فلزات با نقطه ذوب بالا و به صورت قايق از جنس موليبدن يا تنگستن براي فلزات با نقطه ذوب پايين لايه نشاني انجام گرديد. ماده لايه ها روي زير لايه ها به قطر 140 ميكرون كه از يك طرف روي زير لايه ديگري به قطر يك ميليمتر ثابت شده، رسوب داده شده اند. با اندازه گيري شعاع خمش زير لايه در اثر تنش ماده لايه و ضخامت لايه به روش اپتيكي تنش لايه ها تعيين شدند.
نتايج نشان داده اند كه هرقدر ضخامت لايه بيشتر باشد شعاع خمش زيادتر و در نتيجه تنش لايه تا حدي افزايش مي يابد در ضخامت هاي خيلي كم دقت اندازه گيري شعاع خمش و در نتيجه تنش كمتر است به علاوه دقت تعيين تنش لايه ها با نقطه ذوب پايين مانند Zn و Cd در ضخامت هاي زياد به علت كاهش چسبندگي در محدوده ضخامت معين امكان پذير است.