پاسخ به:مقالات مهندسي سطح و عمليات حرارتي
دوشنبه 28 فروردین 1391 8:39 PM
 83: بررسي تغييرات خواص لايه هاي نازك اكسيدي در حضور يون اكسيژن با استفاده از منبع يون ساز  |
| كلهر داوود، زواريان علي اصغر |
| سمينار ملي مهندسي سطح و عمليات حرارتي 1385;ارديبهشت 1385(7) |
| کلید واژه: لايه نازك، خواص مكانيكي، منبع يون، واكنش فعال، ضريب جذب، ضريب انعكاس |
|
خلاصه:
در اين طرح بررسي تغييرات خواص لايه هاي نازك اكسيدي در حضور يون اكسيژن براي چندين ماده اكسيژن دار در دو فاز مطالعاتي و تجربي انجام شده است. در فاز مطالعه معلوم شد كه فرآيند لايه نشاني اين لايه ها در حضور يون اكسيژن موجب تغيير خواص مكانيكي و اپتيكي مي شود. در فاز تجربي، برخي از مواد مطالعه شده به عنوان نمونه انتخاب شد و در دو بخش تحت آزمايش قرار گرفت، به اين ترتيب كه ابتدا مواد اكسيد تيتانيوم و اينديوم در شرايط عادي لايه نشاني شد و شرايط مانند فشار و دما در زمان لايه نشاني براي هر كدام ثبت گرديد سپس همين مواد در شرايط فوق اما در حضور يون اكسيژن كه به وسيله دستگاه يون ساز توليد مي شد با همان ضخامت هاي قبلي لايه نشاني شد طيف لايه هاي تهيه شده با استفاده از XRD و طيف سنج نوري تهيه گرديدند. بررسي طيف هاي به دست آمده نشان گر بهبود خواص لايه ها در حضور يون اكسيژن علاوه بر بالا رفتن درصد عبور لايه هاست. |
