مقالات مهندسي سطح و عمليات حرارتي

لايه هاي نازك نيمه هادي شفاف sno2 به روش هاي مختلف از جمله اسپري پايروليزز تبخير حرارتي، CVD، اسپاترينگ تهيه مي شود. در اين مقاله مشخصه هاي فيلم نازك تهيه شده sno2 به روش sol-gel به وسيله تفرق پرتو x، مورد ارزيابي قرار گرفت همچنين، ميزان اثر هال و مقدار جذب و عبور در ناحيه مرئي مورد بررسي قرار داده شد اندازه گيري اثر هال نشان داد كه نوع هدايت لايه بستگي زيادي به فرآيند گرمادهي(In/Sn£0.25)  دارد. در مورد درصد وزني In/Sn كوچك تر از 0.25 و عمليات گرمادهي بالاي 430^oC لايه نوع P است، در حاليكه در مورد فرآيند گرمادهي كوچك تر از 430^oC فيلم نوع n است.
مشخص شد، نقطه اپتيمم دمايي برايsno2  نوع p، حدود 520^oC است و در اين دما بيشترين تمركز حفره را وجود دارد. اندازه گيريها نشان داد كه فيلم با درصد وزني In/Sn£0.35 داراي هدايت نوع n است. در مورد درصد وزني حدود 0.3، تشخيص نوع n و p قدري دشوار و مشكل است و در حقيقت به عنوان يك نقطه بحراني براي گذار از نوع p به نوع n است.
آزمايش هاي XRD نيز نشان داد كه همه فيلم ها با تمركز In/Sn£0.4 داراي ساختار هگزاگونال است. براي درصد وزني In/Sn£0.25 و عمليات گرمادهي بالاي 430^oC لايه نوع p لازم است. در حالي كه با همين درصد ناخالصي در فرآيند گرمادهي كوچكتر از 430^oC لايه نوع n لازم است.