مقالات مهندسي سطح و عمليات حرارتي

در اين مقاله به بررسي اثر پارامترهاي اصلي پوشش دهي در طي رسوب گذاري دو لايه Ti-TiN بر فولاد HSS پرداخته شده است.
اثر سه فاكتور اساسي فشار، دما و نرخ رسوب گذاري بر ميكروسختي پوشش هاي مذكور بررسي شده است. نتايج آزمايش هاي فشار حاكي از عدم چسبندگي مناسب پوشش در فشارهاي بالاي فرايند (10-1torr) بوده و در فشار پايين ((5*10-3torr ضمن بهبود چسبندگي پوشش اختلاف فاحش در ميكروسختي پوشش تا ميزان10RHC مشاهده شد.
با تغيير در زمان بمباران يوني در اتمسفر آرگون، بررسي اثر دما در دو مقد ار 350^oC و 450^oC صورت گرفت. نتايج اندازه گيري ها مقدار 3-5RHc ميكروسختي بيشتر را در دماي 450^oC نسبت به دماي 350^oC نشان داده است اين اختلاف احتمالا ناشي از نفوذ بيشتر اتم هاي پوشش در اتم هاي لايه در حال تشكيل، حاصل شده است.
نرخ رسوب گذاري در سيستم مورد بحث داراي رابطه اي مستقيم با نرخ جريان يوني منتقل شده توسط پلاسما از هدف تيتانيم به نمونه است آزمايشهاي نرخ رسوب گذاري در دو جريان يوني ثابت 100 آمپر و جريان افزايش يافته 100-30 آمپر انجام گرفت مشاهده شد كه در نرخ هاي بالاي رسوب گذاري، مقدار ميكروسختي به ميزان5RHC  كمتر از نرخ رسوب گذاري افزايش يافته 100-30 آمپر است اين گونه به نظر مي رسد كه اتم هاي رسوب كننده در نرخ هاي كم رسوب گذاري فرصت بيشتري جهت نفوذ و چيدمان منظم دارند و در نرخ رسوب گذاري بالا پديده پل زني مي تواند كيفيت پوشش در حال تشكيل را تحت تاثير قرار دهد. به همراه اين تحقيق شبيه سازي فرآيند مذكور به صورت انيميشن آورده شده است.