مقالات مهندسي سطح و عمليات حرارتي

در اين كار به كمك شبيه سازي كامپيوتري، يكنواختي لايه هاي نازك انباشتي در خلا به روش تبخير حرارتي را روي بستره هاي شيش هاي بررسي مي كنيم. در اين فرآيند سيستمي در اختيار داريم كه در آن فرآيند تبخير از چشمه گسيلي با مساحت كوچك اتفاق مي افتد. از آن جايي كه ممكن است آهنگ گسيل بخار براي تمام نقاط چشمه يكسان نباشد و همچنين تابع توزيع به صورت توزيع فوق كسينوسي يا زير كسينوسي باشد، چشمه با مساحت كوچك را به چشمه هاي نقطه اي تقسيم كرده و تابع توزيع ضخامت لايه را به صورت مجموع توابع توزيع هر يك از اين چشمه ها كه از قانون توزيع كسينوسي پيروي مي كنند، در نظر مي گيريم. نهايتا انتگرال تابع توزيع كل براي تمام حالت ها را به كمك روش مونت كارلو حل كرده و يكنواختي ضخامت لايه يا لايه هاي تشكيل شده روي سطح بستره ها را به دست مي آوريم.