پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 11:05 AM
 36: شبيه سازي ديناميك مولكولي تشكيل لايه نازك فلزي در روش باريكه نانو خوشه يونيده ICBD  |
| ميرعباس زاده كاووس، نايبي پيمان، سرآمد شهريار، زمين پيما اسماعيل |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
در اين مقاله به كمك شبيه سازي ديناميك مولكولي MD شاخصه هاي برخورد يك نانو خوشه نيكل با اندازه ها و انرژي هاي مختلف كه در روش لايه نشاني باريكه نانو خوشه هاي يونيده ICBD استفاده مي شود، مورد بررسي قرار گرفت. انرژي خوشه ها 1-20eV/atom تعداد اتمهاي خوشه ها، 14، 47، 18، 55، 87 و 177 انتخاب شدند. در اين تحقيق وابستگي سايز خوشه به حداكثر دماي زير لايه در لحظه برخورد نانو خوشه به سطح و زمان رسيدن به دما مورد بررسي قرار گرفت . همچنين وابستگي سايز و انرژي خوشه ها به تعداد اتمهاي جابجا شده در زير لايه، اتمهاي پراكنش شده و اتمهاي نفوذ يافته در زيرلايه بررسي شد. هر يك از اين پارامترها نقش كليدي در نوع لايه بوجود آمده دارند. |
