پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 11:05 AM
 35: شبيه سازي فرآيند لايه نشاني سيليكن آمورف در راكتور PECVD و بررسي اثر فشار محفظه روي خواص لايه نشانده شده  |
| ايلاتي حسام، باوفا ميثم، رشيديان بيژن |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
در اين نوشتار نتايج شبيه سازي فرآيند لايه نشاني سيليكن آمورف به روش PECVD ارايه شده است و تاثير فشار محفظه بر روي خواص لايه نشانده شده مورد بررسي قرار گرفته است. به منظور ارزيابي كيفيت و يكنواختي لايه نشانده شده دو معيار كيفي تعريف شده است. همچنين نرخ لايه نشاني سيليكن آمورف در فشارهاي كمتر از يك تور (شرايط متداول لايه نشاني) بر حسب موقعيت مكاني بر روي بستر و الكترود توان نشان داده شده است. |
