پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 10:59 AM
قشلاقي مريم، ملكي محمدهادي، شفاعي سيدرضا، حجتي راد هاشم، حيدرپور فريده، باقي زاده علي |
كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
کلید واژه: |
خلاصه:
اين مقاله تحقيقي تجربي پيرامون چگونگي لايه نشاني فلزات طلا و مس در انباشت لايه نازك مي باشد. در نمونه هاي لايه نشاني شده با تغيير مقدار و چگالي مواد طلا و مس تعداد و نوع لايه ها تغيير نمود. نمونه هاي فوق الذكر توسط دستگاه لايه نشاني بالزر 510 روي شيشه به روش PVD (انباشت فيزيكي بخار) ساخته شد. روش تبخير مواد «تبخير حرارتي» و فشار لايه نشاني 4×10-6 تور بود. وقتي در فرايند لايه نشاني از 2،5 گرم طلا و 0.5 گرم مس، با دانسيته 19.3g/cm3 استفاده نموديم، با آزمايش RBS معلوم شد كه نمونه ساخته شده 6 لايه دارد و اولين لايه بعد از شيشه داراي 10% طلا و 90% مس است.بنابراين مي توان از اين آينه به عنوان آينه داخلي استفاده نمود. |