پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 10:58 AM
 10: آناليز با باريكه يوني: ابزاري مناسب در اندازه گيري هاي مواد و لايه هاي نازك  |
| آقاعلي گل داوود، اوليايي پروين، باقي زاده علي، شكوهي فرح |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
آناليز با باريكه يوني ابزاري توانمند در آناليز و مشخصه يابي مواد است. برخي از اين روشها مانند پيكسي به صورت روزمره از سال 1355 در آزمايشگاه واندوگراف به كار مي رود. استفاده از روشهاي ديگري مانند ميكروپيكسي و چانلينگ و ERD از سال 1378 آغاز شد. در اين مقاله پس از مروري كوتاه بر روشهاي آناليز با باريكه يوني كه در آزمايشگاه ما به كار مي رود به كاربرد اين آناليزها در مشخصه يابي مواد و بخصوص لايه هاي نازك مي پردازيم و با ذكر مثال توانمندي هاي اين روشها را نشان مي دهيم. |
