پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 10:58 AM
 9: نشانش لايه هاي نازك اكسيد فلزي بر روي زيرپايه هاي سيليكا به روش تبخير فيزيكي در خلا  |
| حسيني گلگو سيدمحسن، شكوهمند احسان، افضل زاده رضا، حسين بابايي فرامرز |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
لايه هاي اكسيد قلع و اكسيد روي به روش تبخير با باريكه الكتروني در خلا، بر روي زيرپايه هاي سيليكا نشانده شدند. فشار محفظه~10-5 Torr بود و زيرپايه ها در دماي اتاق قرار داشتند. لايه هاي اكسيد قلع حاصل شفاف و زرد رنگ بوده چسبندگي خوبي به زيرپايه داشتند. مطالعات بعدي نشان داد كه اين لايه ها ساختاري آمورف دارند. تبلور لايه هاي اكسيد قلع در دو محيط اكسيژن و ازت در دماهاي متفاوت صورت گرفت. در همه موارد فرآيند تبلور در محيط حاوي اكسيژن بيشتر، سريعتر بود. اين مورد بر اساس كمبود اكسيژن از مقدار استوكيومتريك آن در تركيب لايه توضيح داده شد. تبخير اكسيد روي به روش مشابه، لايه هاي سياه رنگي متشكل از ذرات روي را نتيجه داد كه نتيجه ضعيفي با زيرپايه داشتند. از اين رو كنترل فشار اكسيژن در محفظه خلا طي لايه نشاني ضروري بود. سعي و خطا در اين خصوص به علت عدم كنترل دقيق فشار اكسيژن نتيجه مثبتي نداشت. |
