پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 10:57 AM
 5: مطالعه تاثير كاشت يوني بر ساختار بلوري و مورفولوژي سطح تك بلور سيليسيم  |
| لطفي عرفان، آقاعلي گل داوود، شيرواني مهرداد، باقي زاده علي |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
در اين مقاله آسيب بلوري ايجاد شده بر اثر كاشت ناخالصي ژرمانيوم با دو دوز و انرژي متفاوت در تك بلور سيليسيم بررسي شده است. دز و انرژي ناخالصي هاي ژرمانيوم كشت شده در سيليسيم عبارت است از: 1×1016atom/cm2 با انرژي3keV و 5×1016atoms/cm2 با انرژي 100keV. آسيب بلوري ايجاد شده، با استفاده از تكنيك RBS-Channeling بررسي و پروفايل اتم هاي سيليسيم جابجا شده از مكان شبكه اي خود بر حسب عمق، بعد از كاشت يوني به دست آمده است. همچنين اثر بازپخت حرارتي بر ترميم شبكه بلوري سيليسيم نيز مطالعه و بررسي شده است. علاوه بر اين مورفولورژي سطح بلور سيليسيم در جهت (100) كه با يون هاي زرمانيوم كاشت شده است. با استفاده از ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) قبل از بازپخت حرارتي مورد بررسي قرار گرفته است. |
