پاسخ به:مقالات اپتيك و فوتونيك ايران
جمعه 25 فروردین 1391 9:39 PM
 30: بررسي خواص نوري لايه هاي نيتريد سيليکون (Si3N4) لايه نشاني شده به شيوه کندوپاش RF در محيط پلاسماي آرگن  |
| معنوي زاده نگين، اصل سليماني ابراهيم، ملكي محمدهادي، افضل زاده رضا |
| كنفرانس اپتيك و فوتونيك ايران 1385;بهمن 1385(13) |
| کلید واژه: پلاسماي آرگن، توان کندوپاش RF، درصد عبور نوري، مولتي کريستال سيليکون، نيتريد سيليکون |
|
خلاصه:
لايه هاي نازک نيتريد سيليکون (Si3N4) بر روي زيرلايه هاي مولتي کريستال سيليکون و شيشه نازک با استفاده از سيستم کندوپاش RF لايه نشاني شده اند. لايه نشاني در محيط گاز آرگن انجام شده و با تغيير توان لايه نشاني سعي شده است پوشش ضدبازتاب مناسبي براي سلولهاي خورشيدي با زيرلايه مولتي کريستال سيليکون حاصل گردد. با تغيير توان لايه نشاني، لايه هايي با خواص نوري متفاوت بدست مي آيد. از آناليز VU/VIS/IR براي بررسي خواص نوري اين لايه ها استفاده شده است. لايه هاي نيتريد سيليکوني که در محيط آرگن و با توان بين 350-100 وات لايه نشاني شده اند، درصد عبور نوري بيشتر از 92% در توان بين 150-100 وات در طيف وسيع 1200-300 nm دارا مي باشند. همچنين لايه هايي که با توان 150-100 وات لايه نشاني مي شوند، داراي باند ممنوعه نوري در حدود 5eV مي باشند. |
