پاسخ به:دانلود مقالات علوم زمين
جمعه 5 خرداد 1391 9:18 PM
| 6 : مجله علوم دانشگاه شهيد چمران زمستان 1385; -(16 (قسمت الف)):56-65. |
| طراحي و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازك شيشه اي به روش لايه نشاني و ريزماشينكاري |
| مظفري مرتضي,ارضي عزت اله*,مهاجرزاده سيدشمس الدين |
| * دانشكده فيزيك، دانشگاه تهران، تهران |
|
حسگرهاي شار گاز با استفاده از تكنيك لايه هاي نازك ساخته شده اند. اين حسگر از نوع گرمايي بوده و براساس اختلاف دماي ناشي از عبور جريان هوا از روي يك گرمكن الكتريكي كار مي كند. عنصر حساس به دما در اين حسگر، دو سري آرايه ترموكوپلي متشكل از بازوهايي از جنس نيكل و كرم است. اين حسگر مي تواند جريان هاي هوا در حدود 10 sccm تا 10000 sccm را اندازه گيري نمايد و به راحتي امكان توليد انبوه آن وجود دارد. طراحي و ساخت ماسك، لايه نشاني هاي مختلف و ليتوگرافي اين لايه ها با موفقيت انجام شده است، ريزماشينكاري بر روي شيشه جهت ساخت غشا شيشه اي مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج به دست آمده از آزمايش هاي انجام شده بر روي اين حسگرها نشان مي دهد كه رفتار حسگر تا 1000 sccm كاملا خطي است كه قابل توجه مي باشد. در ادامه، طرحي جديد در ساختار هندسي اين افزاره كه مي تواند حساسيت افزاره را افزايش دهد، ارايه مي شود. |
| كليد واژه: |
 |
|
نسخه قابل چاپ |
