پاسخ به:دانلود کتب، جزوات و مقالات فیزیک
جمعه 29 اردیبهشت 1391 5:26 PM
| 2 : پژوهش فيزيک ايران بهار 1387; 8(1):1-7. |
| رشد و بررسي خواص نانو ساختاري اکسيد تيتانيوم و نيترايد آلومينيوم |
| بهاري علي*,حسن زاده كبري,اميرصادقي مونا,رودباري ماندانا |
| * گروه فيزيک، دانشکده علوم پايه، دانشگاه مازندران، بابلسر |
|
اکسيد تيتانيوم و نيتريد آلومينيوم را در شرايط به ترتيب فشار بالا و فشار بسيار پايين بر زير لايه سيليکوني رشد داده ايم و با استفاده از تکنيکهايي نظير تابش سينکروتروني، AES (Auger Electron Spectroscopy) و SEM (Scanning Electron Microscope) به مطالعه ساختار آنها پرداختيم. بررسيهاي به عمل آمده نشان مي دهند که فيلم آمورف اکسيد تيتانيوم و يا نيتريد آلومينيوم بر زير لايه سيليکون شکل گرفته است که اين ويژگي در کنار بالا بودن ثابت دي الکتريک آنها، مي تواند از آنها يک گيت دي الکتريک مناسب به جاي اکسيد فرا نازک سيليکون بسازد. |
| كليد واژه: نيمرسانا، فيلم نازک، CMOS، اکسيد تيتانيوم و نيتريد آلومينيوم، تکنيکهاي سينکروترون، AES و SEM |
 |
|
نسخه قابل چاپ |
