پاسخ به:دانلود کتب، جزوات و مقالات فیزیک
جمعه 29 اردیبهشت 1391 5:23 PM
| 8 : پژوهش فيزيک ايران زمستان 1387; 8(4):241-248. |
| شبيه سازي اثرات نوع آلايش و چگالي جريان در رشد سيليكان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود |
| مينايي فرد سکينه,ثابت دارياني رضا |
|
هدف از اين مقاله وارد كردن اصلاحاتي به مدل انبوهش پخش محدود مي باشد كه بتواند اثرات نوع آلايش و چگالي جريان را در شكل ساختارهاي به دست آمده طي رشد سيليكان متخلخل شبيه سازي كند. براي تاثير نوع آلايش، ضريب چسبندگي و براي تاثير چگالي جريان، پارامتر ميدان متوسط را به مدل انبوهش پخش محدود اعمال كرديم. نتايج شبيه سازي نشان مي دهند كه پارامتر ضريب چسبندگي در كنترل ضخامت خلل موثر است در حالي كه پارامتر ميدان متوسط ويژگي درختي با ميله اي بودن خلل را كنترل مي كند. نتايج آن بر روي شبيه سازي رشد سيليكان متخلخل، نشان داد اصلاحات اعمال شده با تاثير اين دو پارامتر در شكل ساختارهاي شيبه سازي شده با نتايج نمونه هاي تجربي به دست آمده توافق و سازگاري دارند. |
| كليد واژه: سيليكان متخلخل، انبوهش پخش محدود، شبيه سازي، ضريب چسبندگي، ميدان متوسط |
 |
|
نسخه قابل چاپ |
