پاسخ به:بانک مقالات بلورشناسي و كاني شناسي
جمعه 29 اردیبهشت 1391 12:23 PM
| 8 : بلورشناسي و كاني شناسي ايران بهار و تابستان 1386; 15(1):135-146. |
| مشخصه يابي ساختارهاي دورآلاييده وارون p-Si/SiGe/Si با روش هاي پرتو X و الکتريکي |
| صادق زاده محمدعلي* |
| * يزد، دانشگاه يزد، دانشكده فيزيك |
|
در اين کار، ساختارهاي رونشانده تكريخت دور آلاييده وارون p-Si/Si1-xGex/Si با پراش پرتو X و روش الکتريکي مشخصه يابي شده اند. در نتيجه سمتگيري متفاوت صفحات براگ همخوان با لايه كرنش يافته تراکمي SiGe نسبت به لايه Si، مي توان نسبت (x) Ge، و ضخامت لايه پوششي (lc) را با شبيه سازي کامپيوتري شدت و جدايي زاويه اي قله هاي (004) مشاهده شده در طرح پراش اين ساختارها تعيين کرد. از طرفي در لايه SiGe، يك گاز حفره اي دو بعدي با چگالي سطحي ns تشكيل و به روش هال اندازه گيري شد و با اعمال ولتاژ متناسب به دريچه مصنوعي (Vg) قابل كنترل است. در مشخصه يابي به روش الکتريکي، دو مشخصه x و lc با برازش نظري تغييرات خطي ns بر حسب Vg به دست آمده اند. در خاتمه عوامل موثري که موجب عدم قطعيت نتايج هر روش و اختلاف جزيي آنها مي شود نيز توضيح داده شده اند. |
| كليد واژه: ساختار Si/SiGe ، مشخصه يابي Si/SiGe، پرتو X و روش هال |
![]() |
|
نسخه قابل چاپ |