پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 11:06 AM
 37: ضخامت سنجي لايه هاي نازك در حين فرآيند لايه نشاني و تعيين تابع دي الكتريك مختلط به صورت همزمان مبتني بر زواياي تابش چندگانه بيم هاي ليزر  |
| اشرفي محمدرضا، كاشفيان علي، رشيديان بيژن |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
در اين مقاله روشي جهت اندازه گيري تابع دي الكتريك مختلط و ضخامت فيلم هاي خيلي نازك به صورت همزمان، در طول پروسه لايه نشاني ارايه مي شود. براي اين منظور دستگاه معادلات شدت نور بازتابيده و عبوري تحليل گرديده و اجزاء حقيقي و موهومي تابع دي الكتريك و همچنين ضخامت فيلم در حال لايه نشاني بدست مي آيند. نتايج عملي توسط يك سيستم طراحي شده براي دريافت بلادرنگ داده هاي شدت نور، براي لايه نشاني فلز آلومينيوم در دو طول موج ليزر برابر 650 نانومتر (نور قرمز روشن) و 780 نانومتر (نور مادون قرمز نزديك) روي بستر شيشه ارايه شده اند. |
