پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 11:04 AM
 30: روشي نوين براي مطالعه واجذب اكسيژن در لايه نشاني ليزر پالسي اكسيد تنگستن به وسيله داده برداري دامنه زماني از افت و خيزهاي مقاومت لايه در خلا  |
| رنجبر مهدي، ايرجي زاد اعظم، مهدوي سيدمحمد |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
لايه هاي اكسيد تنگستن به روش لايه نشاني ليزر پالسي در محيط اكسيژن و همچنين در خلا ساخته شدند. با استفاده از XPS معلوم شد. نمونه اول حالت W+6 و با نسبت O/w=3 و دمي حالت هاي به صورت W+4>W+5>W+6<W0 و با نسبت O/w=1 دارند. ما از مقاومت سنجي در خلا براي مشاهده پديده واجذب اكسيژن در حين لايه نشاني استفاد كرديه ايم. داده برداري سريع از مقاومت در حين لايه نشاني افت و خيزهايي را آشكار كرد كه با استفاده از نتايج آناليز سطحي آنها را به واجذب اكسيژن از سطح نسبت داده ايم. در نهايت اثر بر هم كنش ليزر با تارگت هم بررسي شد. |
