پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 11:03 AM
 23: تهيه لايه هاي نازك تيتانيوم بر روي زيرلايه هاي شيشهاي به روش كندوپاش مگنتروني و بررسي چسبندگي آنها به زيرلايه  |
| بيدادي حسن، پرهيزگار مجتبي، هاديان فرامرز، خداكريمي صبا |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
در اين كار تجربي لايه هاي نازكي از تيتانيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش مگنتروني تحت شرايط متفاوت بر روي زير لايه هاي شيشه اي تهيه و تاثير چهار پارامتر مهم دما ي زيرلايه، فشار گاز كاري (آرگن)، انرژي يون هاي توليد شده در پلاسما و فشار پايه بر روي چسبندگي اين لايه ها به زيرلايه هاي شيشه اي مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج حاصله نشان مي دهد كه چسبندگي لايه هاي نازك تيتانيومي به زيرلايه هاي شيشه اي با افزايش دماي زيرلايه افزايش، با افزايش فشار پايه افزايش و با افزايش فشار گاز آرگن كاهش پيدا مي كند. افزايش انرژي يونهاي فرودي نيز موجب افزايش چسبندگي لايه ها به زيرلايه مي گردد. همچنين علل تغييرات مشاهده شده در چسبندگي در اثر افزايش دماي زيرلايه، فشار گاز آرگن، انرژي يونهاي فرودي و فشار پايه مورد بحث قرار گرفته است. |
