پاسخ به:مقالات خلاء
شنبه 26 فروردین 1391 11:03 AM
 21: بررسي خواص غير خطي الكتريكي لايه نازك سيليكان  |
| صادق بيگي مريم، ثابت دارياني رضا |
| كنفرانس ملي خلاء ايران 1386;بهمن 1386(3) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
اندازه گيري مقاومت ويژه ويفرهاي سيليكان (111) نوع p،n به روش ون در پاو انجام شد. سپس به وسيله تبخير اشعه الكتروني، يك لايه نازك از سيليكان بر روي ويفر سيليكان نشانديم. با مقايسه نمودار ويفر سيليكان با حالت لايه نشاني شده سيليكان، مشاهده شد براي جريان هاي كمتر از 2mA تفاوت آشكاري ميان دو حالت وجود دارد كه ناشي از لايه نازك سيليكان مي باشد. |
