پاسخ به:مقالات اپتيك و فوتونيك ايران
جمعه 25 فروردین 1391 9:39 PM
 29: بررسي ساختارهاي Ti/Cu و Mo/Cu براي تماس اهمي در سلولهاي خورشيدي مبتني بر زير لايه هاي مولتي کريستال سيليکون  |
| دهقان نيري فاطمه، اسفنديارپور بهزاد، كتابداري محمدرضا، اصل سليماني ابراهيم، مهاجرزاده سيدشمس الدين |
| كنفرانس اپتيك و فوتونيك ايران 1385;بهمن 1385(13) |
| کلید واژه: تماس اهمي، ساختارهاي Ti/Cu و Mo/Cu، مقاومت تماس، مولتي کريستال سيليکون |
|
خلاصه:
در اين مقاله ساختارهاي Ti/Cu و Mo/Cu با مقاومت تماس اهمي بسيار پايين برروي مولتي کريستال سيليکون لايه نشاني شده است. لايه نشاني با بيم الکتروني در شرايط خلا بسيار بالا انجام شده و براي رسيدن به يک تماس اهمي مناسب نمونه ها در دماهاي مختلف گرمادهي شده اند. تاثير ضخامت، زمان و دماي گرمادهي روي کيفيت تماس اهمي اين ساختارها بررسي شده است. مقاومت تماس حاصل براي ساختارهاي Mo و Ti به ترتيب Ω-7.5*10-6 W-Cm2 و 9.7*10-6 W-Cm2 مي باشد. در نهايت با مقايسه بين نتايج بدست آمده ساختار Mo/Cu به عنوان تماس اهمي مناسب براي سلولهاي خورشيدي مذکور انتخاب شده است. |
