پاسخ به:دانلود کتب، جزوات و مقالات فیزیک
دوشنبه 28 فروردین 1391 11:02 PM
 10: زدايش عمودي قرص سيليكان (111) به كمك نور ليزر  |
| زندي كاظم، ثقفي سعيده، مهاجرزاده سيدشمس الدين، ارضي عزت اله |
| كنفرانس ماده چگال انجمن فيزيك ايران 1385;بهمن 1385(8) |
| کلید واژه: |
|
خلاصه:
در اين مقاله يك روش جديد براي زدايش عمودي قرص سيليكان (111) گزارش شده است. در حاليكه زدايش با استفاده از فاز بخار مخلوطي از محلول اسيدهاي فلوئور سيليسيك (H2SiF6) و نيتريك انجام مي شود نور ليزر، زدايش را در جهت تابش در اثر القا تقويت مي كند. زدايش آهنگ شديدا به طول موج نور ليزر و درصد تركيبات محلول بستگي دارد و حداكثر تا آهنگ 30mm/hr قابل دسترسي است. با استفاده از ميكروسكوب الكتروني و عكسبرداري اپتيكي به كمك ميكروسكوپ، خالي شدن زير ماسك مورد بررسي قرار گرفته و نتايج آن گزارش شده است. |
